我們都知道，我國(guó)的半導(dǎo)體和芯片行業(yè)一直受到美國(guó)的壓制。電子級(jí)硫酸在芯片制造工藝中是用量z大的電子化學(xué)品，在大規(guī)模集成電路、LED顯示器、平板顯示器等電子工業(yè)中有著大量的應(yīng)用。因此電子級(jí)硫酸也屬于需要突破的“卡脖子”產(chǎn)品中的一員。我國(guó)之前電子級(jí)硫酸完全依賴與巴斯夫等外企的進(jìn)口，電子級(jí)硫酸的要求比普通硫酸的要求高很多，它的金屬離子必須達(dá)到PPT級(jí)別，對(duì)雜質(zhì)含量、純度要求極高，國(guó)內(nèi)企業(yè)多是以工業(yè)硫酸生產(chǎn)為主。

經(jīng)過(guò)幾年的研究，我國(guó)電子級(jí)硫酸的品質(zhì)已經(jīng)達(dá)到了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、世界一流的水平。作為集成電路制造業(yè)、封裝測(cè)試業(yè)以及整機(jī)裝配業(yè)原料供應(yīng)的上游行業(yè)，高規(guī)格的電子級(jí)硫酸自然供不應(yīng)求，但是想要搶占國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)，就必須以標(biāo)準(zhǔn)為導(dǎo)向，建立起完善的規(guī)則制度。因此我們就來(lái)給大家介紹一下電子級(jí)硫酸的化工原料檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。

為了技能滿足國(guó)內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)及使用企業(yè)的生產(chǎn)、使用需求，可以將電子級(jí)硫酸產(chǎn)品按純度劃分為五個(gè)等級(jí)，分別為EL、VL、UL、SL和XL。在具體的指標(biāo)上，對(duì)硫酸含量、外觀、色度、不同粒徑顆粒的個(gè)數(shù)、氯化物、硝酸鹽、磷酸鹽、銨鹽、還原高錳酸鉀物質(zhì)及金屬雜質(zhì)等共 35 個(gè)項(xiàng)目有具體的要求。

一般來(lái)說(shuō)，如果電子級(jí)硫酸用于電子硅晶片的制造過(guò)程，則需要對(duì)其中的金屬和非金屬雜質(zhì)陽(yáng)離子進(jìn)行嚴(yán)格的控制，在進(jìn)行化工原料檢測(cè)時(shí)要尤為注意。因?yàn)楣鑸A片上存在的不溶性固體顆粒或金屬離子可能導(dǎo)致電路之間導(dǎo)電，引起短路。如果是鈉、鈣等堿金屬雜質(zhì)會(huì)融進(jìn)氧化膜中，導(dǎo)致耐絕緣電壓下降，當(dāng)硅圓片表面附著有銅、鐵、鉻、銀等重金屬雜質(zhì)時(shí)，會(huì)使P-N結(jié)耐電壓降低，影響大規(guī)模集成電路電性能，硼、磷、砷等雜質(zhì)離子會(huì)影響擴(kuò)散劑的擴(kuò)散效果，塵埃顆粒會(huì)造成光刻缺陷，氧化層不平整，影響制版質(zhì)量和等離子蝕刻工藝。因此，新標(biāo)準(zhǔn)對(duì)各種金屬和非金屬雜質(zhì)陽(yáng)離子質(zhì)量分?jǐn)?shù)都做了明確要求。

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