|
PECVD系統加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無須操作人員的干預，可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號，同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經驗的要求，關鍵電氣元件采用優質的進口產品，做到高性能、免維護，提高了設備質量的可靠性。 |
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
1、加熱系統
2、PE射頻電源
3、PECVD系統的三路質子流量控制系統
4、低真空機組 |
