質(zhì)量流量控制器可應(yīng)用于多種行業(yè)
質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種清潔干燥氣體，包括腐蝕性氣體和特別氣體，但對(duì)于使用腐蝕性氣氣體和特別氣體，需要恰當(dāng)選擇型號(hào)和密封材料，以免因?yàn)檫x型或選擇密封材料錯(cuò)誤造成損失。通常質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的材質(zhì)為316L不銹鋼、密封材質(zhì)分為金屬焊接，聚四氟乙烯和普通氟橡膠。

    氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)主要應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER 磁控濺射臺(tái)、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過(guò)程控制器、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
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