Alicat艾里卡特MCE系列真空質量流量控制器特點：

1、插入式兼容性。外形包括焊接 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標準 MFC 的 124 毫米端到端長度相匹配。

2、多功能且準確。對 98 多種氣體和 20 種自定義混合物進行實時控制，精度可達 NIST 可追溯的讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%。

3、輕松集成。定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業過程中。

設備規格和定制選項：

快速規格：

MCE 系列性能（大多數產品）

1、可用滿量程范圍：0.5 SCCM 至 20 SLPM

2、穩態控制范圍：滿量程的0.01% – 100%

3、標準精度校準，NIST 可追溯：讀數的 ± 0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準

4、可選高精度校準，NIST 可追溯：讀數的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準

5、重復性：±（讀數的0.1% + 滿量程的0.02%）

6、典型控制響應時間：快至 30 ms

7、預熱時間： <1秒

MCE 系列操作條件

1、兼容氣體：98 種以上預加載的可選氣體校準

2、工作溫度：–10°C 至 +60°C

3、滿量程工作壓力：160 PSIA

4、z大壓差：75 PSID

5、耐壓：175 PSIA

6、用戶可選擇的參考條件（默認）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

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